TEM cube樣品桿清潔儲(chǔ)存站提供高真空環(huán)境下的TEM樣品桿儲(chǔ)存、泄漏檢查和等離子清潔功能，適用于多種品牌TEM樣品桿。該系統(tǒng)包括8個(gè)樣品桿適配器、等離子源和真空泵，確保樣品和樣品桿清潔。另有單獨(dú)的TEM樣品桿真空儲(chǔ)存站，能存放多達(dá)6個(gè)樣品桿，并支持獨(dú)立抽放操作，有助于樣品桿放氣和去潮，保持清潔狀態(tài)。兩種設(shè)備均具備獨(dú)立維護(hù)和多系統(tǒng)共享真空泵的靈活性。

電鏡附件及外設(shè)TEM cube樣品桿清潔儲(chǔ)存站

(TEM&SEM樣品及樣品桿清潔貯存解決方案)

(一)TEM cube高真空TEM樣品桿儲(chǔ)存、泄漏檢查和等離子清潔腔室

TEM cube帶有8個(gè)樣品桿適配器(適配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM樣品桿，多 8 個(gè)，每側(cè) 4 個(gè))，并配等離子源和真空泵工作站，渦輪分子泵版本的極限真空在 10-7Torr 量級(jí)（亦可選干式渦旋泵抽真空），腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸；腔室門(mén)：帶鎖定旋鈕的鉸鏈玻璃門(mén)。主要應(yīng)用：用于 TEM 樣品桿、TEM 樣品和大型 EM 組件的高真空存儲(chǔ)；原位TEM樣品桿和芯片泄漏檢查；TEM樣品桿、樣品和組件的等離子清潔。注：EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子源采用室內(nèi)空氣、氧氣或氫氣作為處理氣體產(chǎn)生氧或氫自由基，用于SEM&TEM樣品清潔；EM-KLEEN等離子源也可被取出并安裝在SEM、FIB和XPS系統(tǒng)上，用于真空腔室清潔。

(一)TEM樣品桿真空儲(chǔ)存站

TEM樣品桿真空泵站可在真空條件下存放多6個(gè)TEM樣品桿(適配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM樣品桿)，幫助樣品和樣品桿放氣，去除水氣凝結(jié)，保持樣品和樣品桿的清潔。也可用于樣品桿的檢漏。

● 每臺(tái)設(shè)備含6個(gè)存儲(chǔ)單元

● 每個(gè)存儲(chǔ)單元都可以通過(guò)電磁閥進(jìn)行獨(dú)立的抽放。當(dāng)取出其中一個(gè)樣品桿時(shí)，其余的單元仍可保持在真空狀態(tài)下

● 多個(gè)存儲(chǔ)系統(tǒng)可共享一個(gè)真空泵，也可與Tergeo-EM系統(tǒng)共用一個(gè)真空泵

● 可選無(wú)油干式渦旋泵或渦輪泵站

● 真空泵與儲(chǔ)存站分開(kāi)，必要時(shí)易于維護(hù)和維修

● 真空管路全金屬管設(shè)計(jì)，可大限度地減少排氣，從而減少污染

● 略高于室溫的穩(wěn)定的操作溫度設(shè)計(jì)，有利于樣品桿更快放氣