20年 AXCELIS GSD200 離子注入機通訊控制板維修 電路板維修常用的生產型離子注入機主要有三種類型：低能大束流注入機、高能注入機和中束流注入機，如下所示：低能大束流離子注入機，0.2keV~100keV，超淺結、源漏注入、多晶硅柵注入等高能離子注入機，~MEV，深埋層等中束流離子注入機，幾百keV，柵閾值調整、輕摻雜漏區、SIMOX、Cut穿透阻擋層等低能大束流離子注入機：大束流的注入機的束流可以達到幾毫安甚至幾十毫安。低于100keV，由于器件的特征尺寸不斷縮小，需要更低能的注入，以形成淺結或超淺結，有的大束流的注入機的低能可以達到0.2keV。高能離子注入機：高能注入機可高達幾MeV。中束流離子注入機：中束流注入機的注入在幾百keV范圍內。離子注入機由離子源、離子引入和質量分析器、加速管、掃描系統和工藝腔組成，可以根據實際需要省去次要部位。離子源是離子注入機的主要部位，作用是把需要注入的元素氣態粒子電離成離子，決定要注入離子的種類和束流強度。離子源直流放電或高頻放電產生的電子作為轟擊粒子，當外來電子高于原子的電離電位時，通過碰撞使元素發生電離。碰撞后除了原始電子外，還出現正電子和二次電子。正離子進入質量分析器選出需要的離子，再經過加速器，由四級透鏡聚焦后進入靶室，進行離子注入。
