20年半導(dǎo)體設(shè)備射頻電源匹配器維修AM1315T
維修范圍：半導(dǎo)體、刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、技術(shù)研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、溫度控制器Thermo Chiller，微波發(fā)生器等，提供設(shè)備維護(hù)維修保養(yǎng)整包、批量產(chǎn)品維修。RF MATCH用于提供穩(wěn)定的高頻電源，其工作頻率范圍在13.56MHz到27.12MHz之間。如果這個(gè)設(shè)備出現(xiàn)故障，將會對整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生災(zāi)難性的影響，會導(dǎo)致整個(gè)系統(tǒng)崩潰。當(dāng)這個(gè)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，需要盡快進(jìn)行維修，以確保整個(gè)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
