檢測原理是：HS-Phys-SimPLe系統是一種高分辨率光致發光（PL）掃描映射系統，用于表征直徑高達400mm的半導體晶片。使用專門設計的高強度激光源來激發半導體材料中的少子載流子。
三種類型復合載體：SRH（Shockley-Read-Hall）深能級復合，Auger俄歇復合和Radiative輻射復合。在較低注入水平下，Auger俄歇復合可以忽略不計，因此“清潔”區域由輻射控制，而污染區域主要由SRH深能級復合控制。由于結晶滑移缺陷就像溶解污染的吸雜點，具有較低的輻射發射。因此可以通過PL技術將其可視化。
產品特點
■ 直徑達400mm、厚度達30mm的晶片檢查
■ 60μm分辨率下的滑移線檢測
■ 更多波長可供選擇
■ 檢測速度：12英寸-13分鐘，8英寸-5分鐘
■ 利用優化的波長和過濾進行PL滑移線檢查，可以發現制程中尚未發現的問題
■ 顯示更小的滑移線等內部缺陷。
■ 自動晶圓探測器
■ 自動參數設置
■ 即使在低信號采樣上也具有高分辨率和高對比度
